Picosun、Silex和Pegasus联手为MEMS制造提供一站式ALD解决方案

据麦姆斯咨询报道，芬兰Picosun公司、瑞典纯MEMS代工厂Silex和英国Pegasus Chemicals联手为MEMS行业提供ALD（Atomic Layer Depositio，原子层沉积）解决方案和制程。这个联合组织的目的旨在实现其它任何薄膜沉积工艺无法完成并具有创新意义的先进MEMS结构。

如今，MEMS在许多日常应用如移动电话、汽车和各种传感器系统中都扮演着重要的角色。除了上述巨大市场以外，迅速发展的物联网需要数十亿独立通信的电子器件，也将成为MEMS产业发展的强劲动力，相信在不久的将来MEMS会获得指数级的增长。

在Picosun、Silex和Pegasus三家的合作中，PICOSUN™ ALD系列平台安装在位于瑞士斯德哥尔摩市的Silex代工厂内。该平台包括：一台全自动并集成在工厂中的晶圆片盒对晶圆片盒传送的真空机器人，用于衬底片的上下料；一台PICOSUN™ P-300F ALD反应系统，能一次完成25片8英寸晶圆的薄膜沉积。安装的这套反应系统可以沉积各种金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜和纯金属薄膜，每月的产量可达几万片（备注：以设备90%正常运行时间，沉积10nm厚度的Al2O3的产出来统计）。Pegasus则为ALD制程研发和生产所需的前沿化学品，并为其量身定做技术支持和交付选择。PICOSUN™ ALD系列将通过增加两台ALD反应系统来进行升级。在合作过程中，来自三家的工程师和科学家一起致力于解决在MEMS加工中存在的问题，并为如何实现新的MEMS器件开辟全新的思路。

“自从2010年以来，我们一直与Picosun合作，现在我们的合作已经达到了全新的水平。我们非常兴奋地能拥有PICOSUN™ ALD系列平台，这将确保我们为先进MEMS应用领域的客户开发创新且成熟的ALD解决方案。”Silex的工程副总裁Niklas Svedin博士谈到。

Picosun的总经理Juhana Kostamo先生评论道：“这对我们来说是一个很有价值的项目，因为ALD在MEMS加工中的应用正在迅速增加。我们已经在MEMS市场有强大的影响力，但应用推陈出新，我们想保持领导地位就必须跟上发展的脚步。在SALADIN项目，我们的合作伙伴也对ALD如何在MEMS工艺流程中实施新的想法进行了测试和开发。”

而Pegasus Chemicals的技术总监Paul Williams博士则总结：“MEMS市场增长快速，我们很有兴趣参与到ALD系列平台的创新。我们渴望在这一领域的化学前沿有所发展，并专注于先进的MEMS应用。”

关于Picosun

Picosun公司提供最先进的ALD薄膜生长技术，实现产业跨越式发展，具有一站式生产解决方案和无与伦比的专业领域知识。今天，PICOSUN™ ALD设备被世界各地的许多主要行业生产普遍使用。Picosun总部在芬兰，在德国、北美洲、新加坡、台湾、中国和日本设有子公司，并在全球布局了销售和支持网络。详见官网www.picosun.com。

关于Silex Microsystems

Silex Microsystems是全球最大的纯MEMS代工厂，为MEMS行业的众多高科技企业和创新领导者提供200mm晶圆先进制程代工。Silex的纯代工形式能真正做到客户IP的保护，明确不涉及客户产品设计开发，而是专注于通用的工艺模组和加工能力开发，客户可以将此纳入自己的产品设计从而实现最具竞争力的解决方案。Silex开发的通过技术节点包括TSV's （Sil-Via®，Met-Via® 和TGV），2.5D互连、MEMS-COMS晶圆级低温键合技术。同时，Silex还在氮化铝（AlN）、锆钛酸铅压电陶瓷（PZT）、厚聚合物、磁性材料、各种合金和贵金属材料的生长工艺具有领先的生产能力。详见官网www.silexmicrosystems.com。

关于Pegasus Chemicals

Pegasus Chemicals是一家为半导体和材料科学应用提供高纯度气体的供应商。公司采用先进的制造和净化技术，对金属和氧杂质测量分析能力达ppb级，以确保交付的产品适合应用。总部设在英国，Pegasus长期以来以专业的化学、沉积和应用知识，支持全球客户在多种应用和新兴技术中标准和前沿材料的需求。Pegasus对初级研究和研发能持支持技术创新。详见官网www.pegasuschemicals.com。

Picosun、Silex和Pegasus三家的合作来自欧盟资助项目SALADIN（编号：779 786），由Picosun协调完成。