西工大主办的第25届世界微机械会议在西安召开

5月7日，由西北工业大学主办的世界微机械会议（World Micromachine Summit 2019，MMS 2019）在西安开幕，该会议作为微机械领域的世界顶级会议，由在微机械技术领域具有国际竞争力的包括美国、日本、德国在内的二十多个国家和地区的代表团近100位代表参加，西北工业大学校长汪劲松出席开幕式。机电学院苑伟政教授担任会议主席。

本次会议的主题是“智能制造——从芯片开始”，会议方向涉及微机械等世界前沿科技以及智能制造、芯片制造等热点、难点问题，与科技发展和人民生活息息相关。参会人员包括微机械技术的奠基人、世界上最早实现微机械技术商业化的著名专家、美国工程院院士、世界电子电器工程师协会终身会士Kurt Petersen（库尔特·彼得森），德国著名的国家研究中心弗朗霍夫研究院纳米电子系统中心主任Thomas Otto，日本东京大学微纳研究中心主任Toshihiro Itoh，韩国微纳学会主席、韩国科学院微纳研究中心首席科学家Tae Song Kim，国内相关领域院士等世界微机械领域顶级专家。

与会代表们就微机械领域科学技术的发展做了精彩的报告。美国工程院院士、世界电子电器工程师协会终身会士Kurt Petersen（库尔特·彼得森）介绍了让盲人复明的可植入眼睛的微机械系统、手掌大的基因测序芯片、可随身携带的用于疾病诊断的微机械分子检测装置等新科技。

新加坡南洋理工大学的缪建民教授介绍了可用于大气污染环境检测的微机械芯片，或可对我们的雾霾监测分析提供新的技术手段。

比利时鲁文大学的Michael Kraft教授介绍了面向微生化反应器的多物理量集成传感器，在一个芯片上可以同时检测葡萄糖、乳酸、酸碱度、细胞密度等，或可用于太空站可循环生命系统检测。

中国科学院电子学研究所王军波研究员介绍了新型的基于电化学原理的地震波传感器，未来可用于地震检测、地球物理勘测、海底检测等。

北京大学张海霞教授介绍了一种手机滑擦产能装置，通过在手机表面做一层看不见的微纳结构膜，用手指在表面滑擦，就可以产生能量。未来，我们通过滑手机就可以给手机充电。

清华大学朱荣教授介绍了一种基于电极阵列的细胞处理仪器，可以对单个细胞实现捕捉、移动、测量、穿孔等操作，为生物医疗提供了一个便利的细胞实验站。

西北工业大学常洪龙教授介绍了一种新的高灵敏度微传感器机理，灵敏度比原有的同类传感器提高了几百倍。据此他们做出了可以测量单个电子电量的仪器，可应用于航天等特殊的高精尖领域。

第25届世界微机械会议在西工大举办，标志着西工大在微机械领域的工作得到了世界范围内同行顶级专家的公认，表明西工大具有与世界一流学科比肩的实力和国际影响力。西工大拥有“极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）”、“空天微纳系统教育部重点实验室”和“陕西省微/纳米系统重点实验室”及“机械工程”一流学科。

西工大微/纳米系统实验室成立于1993年，由苑伟政教授创建，现已形成国内少有的系统完整的硅基MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）设计、制造、测试平台，以及国际领先的聚合物柔性MEMS制造平台，在面向“三航”应用的高端MEMS以及微机电系统集成设计等方面处于国内领先地位，获国家技术发明二等奖2项。团队入选教育部创新团队，有“洪堡学者”基金1人，万人计划领军人才2人，青年拔尖人才1人，“长江学者”特聘教授1人。建立了我国第一个微系统工程系，编著的《微机电系统》被列为MEMS领域唯一的国家级规划教材，2014年获国家教学成果一等奖1项，同时建立了国家“111”引智基地，与多所国际著名大学建立了良好合作关系，邀请包括诺贝尔奖获得者Wolfgang Ketterle在内的几十名著名教授来校讲学。

西工大在微机械领域已取得多项备受瞩目的成果：

世界上第一台(套)流体壁面剪应力测试仪

2018年4月17日，世界上第一台(套)流体壁面剪应力测试仪由马炳和教授团队研制成功。这台测试仪充分利用了微机电系统(MEMS)技术高度集成、灵敏度高、动态性好的独特优势，通过建立微加工工艺及测试规范，研发出柔性热敏薄膜微传感器和浮动式剪应力微传感器两类关键核心器件。同时，仪器配备多通道探头，能捕捉不同位置流场数据并进行流动状态分析，并具有高时间/空间分辨率、对流场干扰小的优点。仪器为C919、ARJ21等大型客机以及航空发动机、水下航行器和等气动及水动力学优化设计提供了有力技术支持。

体积最小、重量最轻的太空航行用全自动流式细胞仪

随着宇航技术的飞速发展，适用于普通人的太空旅行计划计日可待，有了常洪龙教授团队研发的这一健康测试神器，只需通过乘员的一滴血，经过不到30分钟的时间，就能在太空环境下辅助诊断细菌感染，自身免疫、辐射损伤等病症了！2018年5月，常洪龙教授团队与迈瑞医疗合作，研制出适用于太空环境的健康检测仪，成功实现在微重力环境对乘员进行快速在轨血检，目前已完成了多项测试和验证，被认为是目前体积最小、重量最轻的太空航行用全自动流式细胞仪。

微振镜带你走近3D视觉应用的神奇领域

乔大勇教授带领团队自主研制了静电驱动的MEMS微振镜，并利用MEMS微振镜投射激光结构光，研制出低成本和小体积的三维相机。三维相机使机器人动态获得场景和被操作对象的三维几何信息，能够智能调整运动轨迹和动作，完成多个任务并应对工作环境中不可预见的突发情况。同时，三维相机能极大提高人脸识别技术在智能解锁，人证合一和身份查验等安防领域的应用价值。

采用仿生微纳技术研发的中小型无人机“疏冰蒙皮”

何洋副教授经常带领学生奔赴冰天雪地中，希望找到一种“不易结冰”的东西来解决中小型无人机防除冰问题，终于慧眼识“竹”，发现了冰雪中翠绿盎然的秦岭箭竹，继而采用仿生微纳技术将秦岭箭竹叶的表皮完美复制，制作出“疏冰蒙皮”，贴在中小型无人机易结冰部位，其防除冰效果得到了无人机飞行试验验证。

微机械是基于芯片制造技术的精密机械，通常包括了微/纳传感器、微纳执行器以及检测控制电路为一体的微系统。从物联网、智慧城市、智能建筑、智能交通的建设，到水质、土壤、大气等环境的监测与保护；从解决地沟油、毒牛奶等食品安全问题，到预先监测禽流感、SARS等高传染性病毒；从现代老龄化社会常见的糖尿病、高血脂、青光眼等疾病的预防，到艾滋病、癫痫病等各种疑难杂症的治疗；从高端机床研制、油气田开发，到大飞机、载人航天与探月、航空发动机等十六个国家重大科技专项，几乎都对微机械产品的应用有迫切需求。微机械是国际竞相发展的战略性高新技术领域，也被视为在21世纪有望根本改变世界面貌的关键技术领域。

记者 赵媛媛高莹

摄影记者 卢迪

审稿：吴闻川

转载自西工大新闻网