第25届世界微机械会议在西北工业大学隆重举行

2019年5月7日, 由西北工业大学主办的第25届世界微机械会议在西安举行。本次会议的举办对西工大、西安市和陕西省在微机械、芯片制造、智能制造等高科技领域的发展具有重要推动作用。这是西北工业大学首次赢得World Micromachine Summit的举办权，标志着西工大在该领域的实力和地位，也表明西安市和陕西省在微机械、芯片制造、智能制造等高科技领域具有雄厚的实力。会议由西北工业大学机电学院苑伟政教授担任会议主席，订于2019年5月6日-10日在西安举办。

第25届世界微机械会议（World Micromachine Summit 2019，MMS 2019）由中国代表团组织主办，有20多个国家和地区代表团的近100位代表参加。西北工业大学校长汪劲松出席开幕式。

第25届世界微机械会议（MMS 2019）的主题是“智能制造——从芯片开始”，包括微纳尺度的能源收集及存储、生物芯片、光电设备、柔性电子器件、先进打印技术以及其他与微纳技术和智能系统相关的研究开发成果。

世界微机械会议（World Micromachine Summit，MMS）是微机械技术领域的世界顶级会议，由在微机械技术领域具有国际竞争力的包括美国、日本、德国在内的二十多个国家和地区的代表团参加，代表团都是各国该领域的“国家队”。

世界微机械会议旨在为全球范围内工业、学术以及政府推动并展现微纳技术和智能系统的发展概况。各国代表团成员以圆桌会议的形式讨论每个国家和地区在微纳技术方面的最新研究进展，进一步推动各国微纳技术和智能系统的发展。

世界微机械会议（World Micromachine Summit，MMS）是1995年由日本微机械中心（Micromachine Center）组织发起。第一届MMS于1995年3月13-15日在日本京都召开，来自10个国家的代表参加了此次会议。其后每年举办一届，截止目前已经举办24届，代表团已扩大到25个国家和地区。

第25届世界微机械会议在西工大举办，标志着西工大在微机械领域的工作得到了世界范围内同行顶级专家的公认，表明西工大具有与世界一流学科比肩的实力和重要的国际影响力。西北工业大学拥有“极端环境智能微系统国家重点实验室（培育）”、“空天微纳系统教育部重点实验室”和“陕西省微/纳米系统重点实验室”及机械电子工程国家重点学科、微机电系统及纳米技术国防重点学科、相关“985工程”、“211工程”科技创新平台。

微/纳米系统实验室成立于1993年，是国内较早开展微机电系统研究的单位之一。经长期发展，特别是 “十五”以来经过“985工程”、“211工程”建设，已经成为西北工业大学微纳系统方向博士、硕士研究生培养以及本科生创新设计培养的重要基地，具有强的科学研究、设计开发与人才培养能力。目前实验室具备国内一流、国际先进的实验条件，在面向“三航”应用的高端MEMS以及微机电系统集成设计等方面处于国内领先地位，在国际相关领域有重要影响。

依托实验室建设发展的“微机电系统及纳米技术”学科为机械工程一级学科下有博士、硕士授予权的自设二级学科，是机械工程一级学科联合仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程等多个一、二级学科博士、硕士点建立起的新兴、交叉、边缘学科，是西工大“十五”重点建设学科，国家“985工程”重点建设项目。2002年，“微机电系统及纳米技术”学科被列为国防重点学科。2007年，以微纳系统技术为主干方向申报获批了“机械电子工程”国家重点学科。此外，实验室还拥有仪器科学与技术一级学科下的测试计量技术及仪器博士点、精密仪器及机械博士点、机械设计制造及其自动化博士点等。

建立并发展成国际一流水平的“空天微纳系统教育部重点实验室”和“陕西省微纳米系统重点实验室”，近两次考核均为优秀。目前实验室设备资产达到了4000多万元。实验室形成了国内少有的系统完整的硅基MEMS设计、制造、测试平台，以及国际领先的聚合物柔性MEMS制造平台，有力支撑了学科建设和发展，并为国内外提供代工服务，保障了型号任务，促进了产业化发展。

实验室是国内高校少有的面向全国开放的微纳系统制造和研发平台之一。实验室拥有规范的管理、培训、运行和对外开放制度。实验室为清华大学、北京大学、上海交通大学、航天771所、航空618所、兵器212所、中科院西安光机所等国内几十家单位提供了微纳加工技术及相关器件研发支持。此外，实验室还与航天014基地、总装29基地、中国船舶科学研究中心等建立了良好合作关系，正在与华大电子等国家重点企业筹建有关微纳科技的联合培训中心等。2010年，与山东淄博高新区建立了微传感器联合研究中心。

争取到国家仪器重大专项、863、973、国防基础研究计划、国家自然科学基金等国家级项目30余项，总经费超过1.2亿元。在微机电系统设计、流动测控灵巧蒙皮技术等方面的处于国际领先水平，在微惯性器件与系统、微光学器件、微能源、微流体等方面形成了鲜明的特色。获国家技术发明二等奖2项，省级科技一等奖3项。在国内外重要学术刊物上发表一批高水论文，包括领域国际顶尖学术刊物J.MEMS论文5篇，位列中国大陆高校前列，SCI/EI收录论文242篇。获授权国家发明专利80余项。《微机电系统制造技术》获国家科学技术学术出版基金资助出版。

2012年虞益挺获全国百篇优秀博士论文奖。编著的《微机械与微细加工技术》为我国早期系统全面论述MEMS的论著之一，被评为教育部研究生推荐教材。《微机电系统》被列为MEMS领域唯一的国家级规划教材。建立微纳米小精灵创新设计基地，学生共获得国际一等奖、全国一等奖等大奖20余项，创新竞赛获奖层次和总数名列全国高校前茅。学生创新作品得到科技部长万钢等高度赞扬。研究成果“创建微纳新兴交叉学科平台，培育拔尖创新人才”2014年获国家教学成果一等奖。

团队入选教育部创新团队。逐渐形成了以青年优秀骨干教师为主的团队，其中入选教育部新世纪优秀人才培养计划4人，获“洪堡学者”基金1人，入选中组部万人计划2人，青年拔尖人才1人，当选“长江学者”特聘教授1人，院士有效候选人1人。

建立了国家“111”引智基地。与美国加州理工学院、加州大学伯克利分校、德国慕尼黑工业大学、弗莱堡大学、法国巴黎高师等多所国际著名大学建立了良好合作关系，支持学生出国参加IEEE MEMS等领域顶级国际会议，选派学生和教师到世界一流大学深造。邀请包括诺贝尔奖获得者Wolfgang Ketterle、崔琦，美国工程院院士何志明在内的几十名著名教授来校讲学，大幅提升了学科的国际化水平。

参会人员中包括微机械技术的奠基人、世界上最早实现微机械技术商业化的著名专家、美国工程院院士、美国机械工程学会终身会士，获得澳大利亚科技界奥斯卡奖的澳大利亚昆士兰微纳中心主任，德国著名的国家研究中心弗朗霍夫研究院纳米电子系统中心主任，西班牙国家纳米研究中心主任，日本东京大学微纳研究中心主任，韩国科学院微纳研究中心首席科学家、韩国微纳学会主席，国内相关领域院士等世界微机械领域顶级大咖。他们的工作有些改变了历史，有些已写入了教科书。

会议方向涉及微机械等世界前沿科技以及智能制造、芯片制造等国家热点、难点，与国家科技发展和人民生活息息相关。

微机械是基于芯片制造技术的精密机械，通常包括了微/纳传感器、微纳执行器以及检测控制电路为一体的微系统，是继微电子发展起来的又一项战略性高新技术。它是人类认识和改造世界的重要新型手段，是功能结构微型化、集成化、灵巧化的典型代表。微机械不仅涉及微电子学、微机械学、微光学、微流体学、微热力学、物理学、化学和生物学等众多学科，而且涉及从材料、设计、制造、控制、能源直到测试、集成、封装等一系列技术环节，被视为21世纪有望根本改变世界面貌的关键技术领域，也是国际竞相发展的战略性高新技术领域。

鉴于微机械产品的多样性及诸多优点，当前国民经济几乎所有的行业都对微机械产品的应用有着广阔和迫切的需求。从物联网、智慧城市、智能建筑、智能交通的建设，到水质、土壤、大气等环境的监测与保护；从解决地沟油、毒牛奶等食品安全问题，到预先监测禽流感、SARS等高传染性病毒；从现代老龄化社会常见的糖尿病、高血脂、青光眼等疾病的预防，到艾滋病、癫痫病等各种疑难杂症的治疗；从高端机床研制、油气田开发，到大飞机、载人航天与探月、航空发动机，十六个国家重大科技工程，几乎都对微机械产品的应用有着迫切的需求。

来自二十多个多个国家和地区的微机械领域“国家队”代表，就微机械领域科学技术的发展做了精彩的报告，许多“黑科技”有望进一步改变人类生活。

美国工程院院士、美国机械工程学会终身会士Kurt Peterson报告了许多新科技，包括让盲人复明的可植入眼睛的微机械系统，手掌大的基因测序芯片，可随身携带的用于疾病诊断的微机械分子检测装置等。

新加坡南洋理工大学的缪建民（Miao Jianmin）教授报告了可用于大气污染环境检测的微机械芯片，或可对我们的雾霾监测分析提供新的技术手段。

比利时鲁文大学的Michael Kraft教授报告了面向微生化反应器的多物理量集成传感器，在一个芯片上可以同时检测葡萄糖、乳酸、酸碱度、细胞密度等，或可用于太空站可循环生命系统检测。

中国科学院电子学研究所王军波研究员报告了新型的基于电化学原理的地震波传感器，未来可用于地震检测、地球物理勘测、海底检测等。

北京大学张海霞教授报告了一种手机滑擦产能装置，通过在手机表面做一层特殊的看不见的微纳结构的膜，用手指在表面滑擦，就可以产生能量，换句话说，我们通过滑手机就可以发电了。虽然目前电量还比较小，但未来大有可期。

清华大学朱荣教授报告了一种基于电极阵列的细胞处理仪器，可以对单个细胞实现捕捉、移动、测量、穿孔等操作，为生物医疗提供了一个便利的细胞实验站。

西北工业大学常洪龙教授报告了一种新的高灵敏度微传感器机理，灵敏度比世界上原有的同类传感器提高了几百倍，据此他们做出了超精密的可以测量单个电子的仪器，可应用于航天等特殊的高精尖领域。

举办这次会议将进一步扩大西工大、西安市和陕西省在相关高科技领域影响力，促进高校双一流建设、西安市和陕西省高科技发展。（中国日报陕西记者站）

来源：中国日报网