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阜平佳率—将给中国半导体行业带来改变的业界新秀

Fuping Semi Yield Masters Technology Co., Ltd.(阜平佳率半导体技术信息咨询服务有限公司),技术总监。题目"Achieving Mastery in Chip Manufacturering"(“掌控芯片生产”)

在3月11日召开的中国国际半导体技术大会(CSTIC)上,阜平佳率半导体技术信息咨询服务有限公司(美国德州 AdvancedFab Technology之姊妹公司)Patrick Fernandez做了题为“Achieving Mastery in Chip Manufacturing”(《掌控芯片生产》)的主题演讲。阜平县马佳副县长亲临现场,表明了该县支持高科技产业在本地发展的决心。

演讲者:Cyril Patrick Fernandez(西里尔.帕特里克.费尔南德兹)

Patrick演讲的核心内容,是向业界提出能够快速解决困扰多数晶圆厂良率问题的全新方案。Patrick指出,很多晶圆厂一直沿用传承几十年的做法解决晶圆生产中出现的问题,然而,这些传统做法本身就存在较大问题,导致晶圆厂每天付出上百万美元的代价。

Patrick带领的团队对流行的传统做法发起了挑战,针对不为多数晶圆厂所知的问题,寻找到了切实可行的解决方案。

他是如何做到的呢?Patrick成功帮助过全球 28家晶圆厂,在此过程中积累了丰富的经验。他认真考察了这些晶圆厂的运转状况,发现他们缺乏系统集成,且大数据应用不到位、效率低下。他意识到,必须对传统方法进行严格和正确的修正。运用他的方法,晶圆厂就能把曾经浪费掉的 80%-90%精力专注于那些影响良率的问题上。

传统上,晶圆厂一般要求设备供应商为他们安装设备,然后自己用大约 90天左右时间加工生产晶圆,期间,要按照已知指标进行测量;最后,生产出来的晶圆经过测试以确定其好坏。所谓良率,就是好芯片的比率。晶圆家公司生产期间,要监控 10万至 50万个控制图表,以确保设备和晶圆正常。如果发现不正常,设备就要停止运行数天甚至数周以查找原因。然而,按照上述方法操作,产品良率往往低于业界平均值,交货周期依然不稳。造成这种情况的原因是晶圆厂的这种传统测量方法不正确。特别是运用新技术和开发新产品时,同样的问题就会反复发生。Patrick认为,上述问题本不该发生,晶圆生产本来可以像开轿车般运转平顺。

Patrick在德仪工作30年,期间,从事良率服务9年,熟知12个技术节点,参与过 12个晶圆厂的新厂开办。经验告诉他,晶圆厂的根基是良率。好的良率带来高产能、高可靠性、低成本、新产品快速量产。换句话说,无论是产能、成本、新技术应用还是量产,其核心问题就是良率的好坏。Patrick在演讲中指出,要想解决晶圆厂问题,就要打破依赖设备厂商的传统做法,必须建立新的观念,以避免 90天生产周期后,才在测试中发现良率问题。这种新的做法他称之为“累积实践知识”,即,集成晶圆厂各系统,确保不发生系统间相互影响。为了解决问题,晶圆厂必须进行投入,他们可以选择花费巨额资金自己寻求解决办法,也可以较小的代价,从有能力的第三方获取相关知识。更重要的,是避免早已解决了的问题再次发生。上层管理者往往对问题的发生浑然不知,他们了解的仅仅是最终测试结果。因此,要确保经理层了解一线工程师可见的要项指标(metrics),这样,经理们就确切知道问题出在哪里,如何有效解决问题。提供给决策者的信息应包含 17个基本项:对大数据进行软件分析的结果、设备和工艺评估结果,以及另外 15个基本项。在这 17个基本项基础上,可生成优先解决方案列表,这个列表将产品测试失效进行优先排序,并与晶圆生产参数直接关联。按照 Patrick的解决方案,很容易实现 90%以上的产品良率。通过将精力集中在关键问题解决上,晶圆厂只需要原来一半时间就可实现预期良率,新产品认证、技术转移的时间也会相应缩短至原来的一半。

Patrick还透露,他计划今年在中国出版业界第一部探讨晶圆厂能力的专业书籍《提高晶圆厂能力》(“Enhance FabPerformance”)。

佳率团队的首席顾问,是将半导体技术带到台湾和新加坡的毛鑫博士。